高純六氟化硫產(chǎn)品已經(jīng)通過(guò)嚴(yán)格檢測(cè)清洗和蝕刻試驗(yàn)，反饋的檢測(cè)報(bào)告表明該院產(chǎn)品完全符合“5N”指標(biāo)，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
產(chǎn)品特性
分子量 146.06，常態(tài)下是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃、無(wú)腐蝕性的氣態(tài)物質(zhì)，化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，近年來(lái)高純六氟化硫（99.999％)在電子行業(yè)的應(yīng)用發(fā)展迅速，是優(yōu)良的蝕刻氣體。
